计划归计划，该拆的设备还是得拆

  不过康驰也不用把它拆得非常零散，只需要把几个模块给分开就行了

  反正这玩意拆了外壳，谁也不认不出是什么东西

  由于工作量比较大，康驰只能在东阳又多停留了一周，  同时在拆解休息的时候，他还抽空看了看常春光所的EUV设计图，把图纸都给吃透得差不多了

  在光刻机的EUV光源中，有两个相对成熟可靠的方案，即DPP和LPP方案

  这两个方案，其实原理都是差不多的，就是利用锡转换成等离子体的过程中，可以释放出极紫外光，  区别只是DPP是用电击锡来激活，LPP是用激光二次打击锡液激活

  按照华国的一贯风格，自然是啥都要试试，  所以目前这两个方案，分别由常春光所、魔都光所负责研发

  其中魔都光所的LPP方案，进展其实是最快的，据说功率已经达到了188W，转换效率为3.7%，基本能够进入实用化了